표면거칠기란 금속표면을 다듬질 가공할 때에 표면에 생기는 미세한 요철의 정도를 말하며, 표면거칠기는 가공에 사용되는 공구, 가공법의 적부, 표면에 긁힌 홈, 녹 등에 의해 발생된다.
표면거칠기 측정기는 크게 접촉식 측정기와 비접촉식인 광학적 측정기로 분류할 수 있다.
측침식 측정기는 제일 먼저 개발된 표면거칠기 측정기로 가장 널리 사용되고 있다.
측정 단면 곡선에 컷오프값 λs의 저역 필터를 사용해서 얻어진 곡선．
컷오프값 λc 의 고역 필터에 의해, 단면 곡선으로부터 장파상도 성분을 차단해서 얻은 윤곽곡선.
단면 곡선에 컷오프값 λf 및 λc 의 윤곽 곡선 필터를 순차적으로 곱해 얻어진 윤곽곡선
λf 윤곽곡선 필터에 의해 장파상도 성분을 차단하며, λc 에 의해 단파상도 성분을 차단한다.
| 스타일러스 팁의 공칭곡률반경：μm | 스타일러스 평균 위치에서의 정적 측정압：mN | 정적 측정압 차이의 공차：mN /μm |
|---|---|---|
| 2 | 0.75 | 0.035 |
| 5 | 0.75 (4.0) ** | 0.2 |
| 10 |
** 스타일러스 평균 위치에서 정적 측정압의 최대값은 교체가능 스타일러스를 포항한 특수구조 프로브의 경우 4.0 mN 가 된다.
윤곽 곡선 필터는 위상 지연이 없는 위상 보상 필터입니다．
（윤곽 곡선의 왜곡의 원인은 파상도에 따라 달라짐）
위상 보상 필터의 무게 함수는 진폭 전송이 컷오프 파장에서 50 ％ 인 정규(가우시안) 분포를 나타냅니다.
| λc mm | λs μm | λc / λs | 최대 r tip μm | 최대 기준 길이 |
|---|---|---|---|---|
| 0.05 | 2.5 | 30 | 2 | 0.5 |
| 0.25 | 2.5 | 100 | 2 | 0.5 |
| 0.8 | 2.5 | 300 | 2 | 0.5 |
| 2.5 | 8.0 | 300 | 5 | 1.5 |
| 8.0 | 25 | 300 | 10 | 5 |
* Ra > 0.5 μm 또는 Rz ＞3 μm 표면의 경우 r tip = 5 μm 이라도 측정 결과에큰 차이는 없습니다．
** 컷오프값 λs 가 2.5 μm 또는 8 μm 인 경우 권장 팁이 달린 스타일러스의 기계적 필터링 효과로 인한
신호 감쇠가 정의된 통과 대역을 벗어나는 것으로 나타납니다．
따라서 스타일러스 팁 반경 또는 모양의 작은 오차는 측정값에서 계산한 파라미터 값에 아무런 영향을 미치지 않습니다.
특정 컷오프 비율이 필요한 경우 비율을 명시해야 합니다．